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奥普光电:据我们所知 目前世界范围内封闭式绝对光栅尺的系统精度还在“μm/m”量级

奥普光电:据我们所知 目前世界范围内封闭式绝对光栅尺的系统精度还在“μm/m”量级

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2、比如德国海德汉的封闭式绝对光栅尺标称精度是±3μm/m, 禹衡光学同类产品的批产精度为±3μm/m,最高精度可达±1μm/m。

3、2.5nm指光栅尺的测量步距,也称分辨率,而非精度。

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